SMIC将投资120亿美元在上海建厂 使用14纳米及以下技术
发布于：2021-02-08
近日，上海市发展和改革委员会公布了2021年上海市重大建设项目名单，涵盖上海未来社会发展和与全球产业融合所必需的几个行业，共有166个项目，包括SMIC在内的7家相关企业。
根据项目清单，除了SMIC的12英寸芯片SN1项目，还有华利微电子的12英寸先进生产线、吉它半导体特色工艺生产线、超硅半导体300mm集成电路晶圆自动化智能生产线、精密半导体全球R&D总部和设备制造基地等。还有新开工的项目，包括格科半导体的12英寸CIS集成电路R&D及产业化项目，太丁半导体的12英寸自动化晶圆制造中心项目，新生半导体的300mm集成电路硅片R&D及先进制造新项目，上海田玉娥碳化硅半导体材料项目，上海临港化合物半导体4英寸和6英寸生产线。
据Wccftech介绍，SMIC SN1晶圆厂位于浦东，将建设300mm晶圆生产线，重点开发14nm以下的先进工艺技术节点，投资120亿美元。建成后，月生产能力为3.5万件。目前，SMIC正在推进7纳米工艺，但EUV光刻机暂时不可用，这阻碍了下一步的发展。华利微电子还计划建设一条12英寸的晶圆生产线，生产更先进的集成电路。华虹五厂是中国第一条全自动芯片生产线，覆盖55纳米、40纳米和28纳米工艺节点，每月可生产3.5万片晶圆。目前计划在浦东康桥镇附近再建一家晶圆厂，目标是每月生产4万片12寸晶圆，覆盖28nm到14nm工艺节点。
除了芯片制造，中国目前正在形成上下游产业，处于蓬勃发展时期。在这个供应链中，设备制造企业或许是最重要的，上海微电子是设备制造产业链的一部分，也在努力尽快摆脱限制。